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真空体系：选择真空体系首先应考虑熔室初抽的时刻及各闸阀隔离室抽暇所需的时刻，例如一般主熔炼室要求15min抽暇至13.3N/m(即1×10Torr);然后考虑精粹期气体排出量和对精粹期真空度的要求，这与选用的原材料品种、成分和对熔炼后合金成分的要求有很大联系;还要考虑外来气体源，这对大型炉子更为重要，例如由各真空密封处密封不严引起的漏气，坩埚、绝缘物、导流槽等耐火材料放气，还有炉壁沉积的挥发物吸气后的放气等。一般答应熔炼前熔炼室漏气加放气到达每kg坩埚容量6.65×10-2～1.33×10-1N.L/(m·s)。对炉体漏气要求愈小愈好，因为同一真空度下漏气大的炉子熔炼冶金效果差。通过在熔炼室安放便于铲除挥发物的冷凝捕集器以及选用温水冷却炉壁可显著减少熔炼时炉体受热发生的大量放气。真空感应炉
装料与辅佐设备。有块料、合金料与液态金属等加料装置设备，常用为前两种。小炉的块料打开炉盖直接用手装料;大型炉子为了使熔炼室接连坚持真空，专用闸阀在坩埚上方建有加料室，用底开式吊篮通过加料组织将块料直接送入坩埚。
合金加料器。位于熔炼室之上，总容量约为熔炼料的2～10，为多格别离贮料，通过真空闸阀与振荡送料器将各种合金料于合适的熔炼期间别离参加坩埚内的液态金属中。合金液取样器。为了操控冶炼过程，有必要在不同熔炼期间取样分析合金成分与杂质含量。取样器可通过一小真空阀直接自熔池内取样，或许通过加料装置闸阀自熔池中取样。测温装置。温度是冶炼工艺的重要参数，运用辐射光学高温计测温，有必要及时铲除玻窗上的挥发物并对其进行校正;因此，标准的办法是用浸入式热电偶测温，它可通过专门真空阀门送入，或通过加料室闸阀送入。除此之外，还有捣料杆、可移动坩埚盖，锭模及导流槽等隶属设备。真空感应熔炼设备以德国莱波特海拉斯(Leybold Her-aeus)公司和美国康萨克(Consarc)公司的产品较为先进。我国主要生产厂家为上海电炉厂、锦州电炉厂等。
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